[实用新型]一种晶片载盘有效
申请号: | 201620331741.2 | 申请日: | 2016-04-20 |
公开(公告)号: | CN205630286U | 公开(公告)日: | 2016-10-12 |
发明(设计)人: | 李俊;聂文磊;汪其长;郑为井;邱智中;张家宏 | 申请(专利权)人: | 安徽三安光电有限公司 |
主分类号: | B24B37/30 | 分类号: | B24B37/30 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 241000 安徽*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 一种晶片载盘,所述载盘表面放置有复数个晶片,其特征在于:所述载盘还具有定位线,所述定位线呈与所述载盘同心圆设置的圆形,或者所述定位线呈由若干条弧线围绕而成的圆形,并且所述晶片与所述定位线相切放置。本实用新型通过在置放晶片的载盘上设置定位线,精确控制晶片放置于载盘上的位置,从而防止在后续的晶片上蜡、研磨过程中因晶片位置偏移而产生的晶片厚度研磨不均匀的现象。 | ||
搜索关键词: | 一种 晶片 | ||
【主权项】:
一种晶片载盘,所述载盘表面放置有复数个晶片,其特征在于:所述载盘还具有定位线,所述定位线呈与所述载盘同心圆设置的圆形,或者所述定位线呈由若干条弧线围绕而成的圆形,并且所述晶片与所述定位线相切放置。
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