[实用新型]单片集成的体声波双工器

摘要

本实用新型公开了一种单片集成的体声波双工器，由发射带通滤波器、接收带通滤波器和移相器构成，其中，发射带通滤波器由彼此互连的至少两个FBAR构成，接收带通滤波器由彼此互连的至少两个FBAR构成，移相器由一个电感器和两个电容器构成，FBAR由底电极、压电层和顶电极构成，电容器由底电极、介电层和顶电极构成，接收带通滤波器、发射带通滤波器和移相器均在同一衬底上制造而成。由于本实用新型的制造方法可以将发射带通滤波器、接收带通滤波器及移相器集成到一个芯片上，因此能提供满足移动通信设备小型化需求的双工器。

主权项

单片集成的体声波双工器，其特征在于：包括发射带通滤波器、接收带通滤波器和移相器，其中，发射带通滤波器包括至少两个互连的FBAR，接收带通滤波器包括至少两个互连的FBAR，移相器包括一个电感器和分别连接于电感器两端的第一电容器、第二电容器；所述FBAR均至少包括底电极和顶电极，所述电容器包括底电极、介电层和顶电极；所述接收带通滤波器、发射带通滤波器和移相器均在同一衬底上制造而成。