[实用新型]太阳能电池装片机吸盘及对应的装片机有效
申请号: | 201620311100.0 | 申请日: | 2016-04-14 |
公开(公告)号: | CN205723485U | 公开(公告)日: | 2016-11-23 |
发明(设计)人: | 张文;张航空;李拴;闫宏勃;王超峰;张国强;杜立东;刘斐 | 申请(专利权)人: | 中电投西安太阳能电力有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683 |
代理公司: | 上海硕力知识产权代理事务所 31251 | 代理人: | 郭桂峰 |
地址: | 710100 陕西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种太阳能电池装片机吸盘,包括吸嘴卡合部以及硅片吸附部,吸嘴卡合部包括呈倒圆台体结构的第一结构部以及呈圆台体结构的第二结构部,通过第一结构部及第二结构部与装片机的吸嘴形成紧密配合;硅片吸附部呈圆柱体结构;且第一结构部、第二结构部以及硅片吸附部的内部设置有上下贯穿的中心通孔。本实用新型提供的太阳能电池装片机吸盘通过吸嘴卡合部与吸嘴卡合,并且通过硅片吸附部来吸附硅片,从而彻底解决了GZP‑2A装片机吸嘴在吸片过程中对硅片产生吸盘印;并且即使长时间使用,吸盘的位置也不会发生变化,降低了装片机在吸片过程中造成的碎片,提高了产品的效率、合格率。同时,本实用新型还提供了一种相应的太阳能电池装片机。 | ||
搜索关键词: | 太阳能电池 装片机 吸盘 对应 | ||
【主权项】:
一种太阳能电池装片机吸盘,其特征在于,包括:吸嘴卡合部,用于与装片机的吸嘴相配合;硅片吸附部,用于与待处理的硅片接触,对硅片进行吸附;其中,所述吸嘴卡合部包括第一结构部以及第二结构部;所述第一结构部呈倒圆台体结构,所述第二结构部呈圆台体结构,所述硅片吸附部呈圆柱体结构;所述倒圆台体结构的下底面与所述圆台体结构的上底面重叠,所述圆台体结构的下底面与所述圆柱体结构的上底面接触连接,且所述圆台体结构的侧面与所述圆柱体结构的上底面通过圆弧相切;并且所述第一结构部、第二结构部以及硅片吸附部的内部设置有上下贯穿的中心通孔。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造