[实用新型]硅片制绒系统及其鼓泡装置有效
| 申请号： | 201620278836.2 | 申请日： | 2016-04-06 |
| 公开（公告）号： | CN205501451U | 公开（公告）日： | 2016-08-24 |
| 发明（设计）人： | 阮文娟;陈鹏鲲;吉鑫;宫龙飞 | 申请（专利权）人： | 苏州协鑫光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10;H01L31/18 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 唐清凯 |
| 地址： | 215153 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种硅片制绒系统及其鼓泡装置。该鼓泡装置用于设置在硅片制绒系统的工作槽中，包括多孔板和通气管；所述多孔板用于设置在所述工作槽中，所述多孔板上开设有多个第一孔；所述通气管用于设置在所述多孔板的靠近所述工作槽的底部的一侧，所述通气管内开设有通气通道，所述通气管的内壁上开设有多个第二孔。上述硅片制绒系统及其鼓泡装置，不仅能提高工作中工作液的流动性，使得工作内工作液均匀分布，且使得整个硅片表面与工作液充分接触，使得硅片表面均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 系统 及其 装置 | ||
【主权项】：
一种鼓泡装置，用于设置在硅片制绒系统的工作槽中，其特征在于，包括：多孔板，所述多孔板用于设置在所述工作槽中，所述多孔板上开设有多个第一孔；以及通气管，所述通气管用于设置在所述多孔板的靠近所述工作槽的底部的一侧，所述通气管内开设有通气通道，所述通气管的内壁上开设有多个第二孔。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州协鑫光伏科技有限公司，未经苏州协鑫光伏科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201620278836.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
