[实用新型]一种适用于镀钛机的弧源头

摘要

本实用新型公开了一种适用于镀钛机的弧源头，涉及不锈钢表面的涂层制备领域领域。结构上包括靶材，所述靶材安装于靶材底座的一端，靶材底座为空心结构，内部安装有永磁体基座，永磁体基座同样为空心结构，其外部与靶材底座围成的空间内设置有导流格栅，永磁体基座内部安装有永磁体装置，永磁体装置内部设置有螺纹杆。本实用新型在一定磁场强度和一定旋转频率综合作用下，使得弧斑在整个靶面分布，大大降低弧斑的功率密度，提高离子密度和离化率，实现准扩散弧状态，大大降低颗粒的发射，同时提高蒸发效果和离化效果。同时进一步通过靶材前段的轴向聚焦导引磁场，将净化的高密度等离子体抽出，提高其传输效率。

主权项

一种适用于镀钛机的弧源头，包括靶材(1)，其特征在于，所述靶材(1)安装于靶材底座(4)的一端，靶材底座(4)为空心结构，内部安装有永磁体基座(6)，永磁体基座(6)同样为空心结构，其外部与靶材底座(4)围成的空间内设置有导流格栅(60)，永磁体基座(6)内部安装有永磁体装置(7)，永磁体装置(7)内部设置有螺纹杆(8)。