[实用新型]无刮擦且耐用的基板支撑销及处理腔室有效
| 申请号： | 201620256713.9 | 申请日： | 2016-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN205780150U | 公开（公告）日： | 2016-12-07 |
| 发明（设计）人： | R·L·蒂娜 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | F16B19/02 | 分类号： | F16B19/02;H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司31100 | 代理人： | 黄嵩泉 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本文所描述了一种基板支撑销和利用所述基板支撑销的处理腔室。在一个实施例中，提供了基板支撑销，所述基板支撑销包括细长的主体、杯和头部。所述杯以允许所述杯的中心线移动至不与所述主体的中心线对准的取向的方式被固定至所述主体。所述头部固定至所述杯。所述头部由与所述杯的材料不同的材料制成。 | ||
| 搜索关键词： | 无刮擦 耐用 支撑 处理 | ||
【主权项】：
一种基板支撑销，所述基板支撑销包含：细长的主体，所述细长的主体具有顶部和底部；杯，所述杯以允许所述杯的中心线移动至不与所述主体的中心线对准的取向的方式被固定至所述主体；以及头部，所述头部固定至所述杯，所述头部由与所述杯的材料不同的材料制成。
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