[实用新型]无尘室循环过滤装置、无尘室及手套箱有效
申请号: | 201620249503.7 | 申请日: | 2016-03-29 |
公开(公告)号: | CN205835428U | 公开(公告)日: | 2016-12-28 |
发明(设计)人: | 张德龙 | 申请(专利权)人: | 威格气体纯化科技(苏州)股份有限公司 |
主分类号: | B25J21/02 | 分类号: | B25J21/02;B01D46/00 |
代理公司: | 苏州华博知识产权代理有限公司32232 | 代理人: | 何蔚 |
地址: | 215026 江苏省苏州市苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种无尘室循环过滤装置,其包括:过滤单元,其设置于无尘室内,该过滤单元与无尘室的顶部之间形成第一腔室;板体,其上开设有多个通孔,该板体设置于无尘室内并位于过滤单元的下方,该板体与过滤单元之间形成第二腔室,该板体与无尘室的底部之间形成第三腔室;回风通道,其两端分别连通第一腔室和第三腔室。本实用新型同时还公开了一种无尘室和手套箱。本实用新型与现有技术相比,在简化结构和降低成本的前提下,同样形成了高洁净度的无尘环境,使得洁净度同样可以达到ISO1级。 | ||
搜索关键词: | 无尘室 循环 过滤 装置 手套 | ||
【主权项】:
无尘室循环过滤装置,其特征在于,包括:过滤单元,其设置于无尘室内,所述过滤单元与所述无尘室的顶部之间形成第一腔室;板体,其上开设有多个通孔,所述板体设置于所述无尘室内并位于所述过滤单元的下方,所述板体与所述过滤单元之间形成第二腔室,所述板体与所述无尘室的底部之间形成第三腔室;回风通道,其两端分别连通所述第一腔室和所述第三腔室。
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