[实用新型]一种双电子枪蒸发源有效
| 申请号： | 201620243413.7 | 申请日： | 2016-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN205473959U | 公开（公告）日： | 2016-08-17 |
| 发明（设计）人： | 乔宪武 | 申请（专利权）人： | 中国计量学院 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310018 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型属于真空镀膜技术，具体涉及一种双电子枪蒸发源。所述阴极和偏转系统组合配套使用，所述组合装置至少有2套，所述多束电子束都能轰击同一熔池。本实用新型有益效果：两套电子束系统同时工作，增强了电子束的稳定性。同时，由于电子枪功率的相应降低，使用寿命相应的增加。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子枪 蒸发 | ||
【主权项】：
一种双电子枪蒸发源，包括熔池(1)、阴极(2)、偏转系统(3)，其特征在于：所述阴极(2)和偏转系统(3)组合配套使用，所述组合装置至少有2套。
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