[实用新型]一种平坦度测量装置及柔性集成电路预贴合装置

摘要

本实用新型涉及一种平坦度测量装置及柔性集成电路预贴合装置，其中，平坦度测量装置包括：相对设置的底座和测试平台；位于测试平台背离底座一侧的感压纸；位于底座与测试平台之间的导筒、套筒，以及位于套筒与导筒之间的锁止机构。上述平坦度测量装置中的限压单元可以使底座与测试平台之间的相互作用力的数值最大时处于感压纸可感测的力度范围内，进而使测试平台对感压纸的压力值最大时处于感压纸可感测的力度范围内；因此，利用上述平坦度测量装置，可以确保使感压纸受到的压力达到并不超过其可感测的力度范围。因此，利用该平坦度测量装置进行平坦度测试的准确度较高。

主权项

一种平坦度测量装置，其特征在于，包括：相对设置的底座和测试平台；位于所述测试平台背离所述底座一侧的感压纸；位于所述底座与所述测试平台之间、且一端安装于所述测试平台上的导筒；位于所述底座与所述测试平台之间、且一端安装于所述底座的套筒，所述套筒套设在所述导筒外部；位于所述套筒内、且设置于所述导筒朝向所述底座的一端端面与底座之间的弹性件；位于所述套筒与所述导筒之间的锁止机构，所述锁止机构用于提供在初始状态时将所述套筒与所述导筒锁定的锁止力；当所述套筒与所述导筒沿其轴心线方向上的相互作用力大于所述锁止力时，所述套筒与所述导筒之间的锁定解除，所述套筒与所述导筒可沿其轴心线方向上相对运动。