[实用新型]一种加热匀胶的旋涂装置有效
| 申请号： | 201620161944.1 | 申请日： | 2016-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN205570723U | 公开（公告）日： | 2016-09-14 |
| 发明（设计）人： | 汪竹;陈建锋;曹喜喜;万发能 | 申请（专利权）人： | 江苏雷博科学仪器有限公司 |
| 主分类号： | B05C13/02 | 分类号： | B05C13/02;B05C9/14 |
| 代理公司： | 江阴市同盛专利事务所(普通合伙) 32210 | 代理人： | 陈强 |
| 地址： | 214434 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种加热匀胶的旋涂装置，所述装置包含有竖向设置的转轴（5），所述转轴（5）顶部套装有一水平设置的载物盘（1），所述转轴（5）上套装有隔热盘（4）和导电滑环（6），所述隔热盘（4）上安装有加热盘（3），所述加热盘（3）通过导电滑环（6）与电源相连接，上述隔热盘（4）位于加热盘（3）和导电滑环（6）之间，且加热盘（3）位于载物盘（1）的下方。本实用新型涉及一种加热匀胶的旋涂装置，能够在旋转过程中对胶液进行加热并对温度进行精确控制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 加热 装置 | ||
【主权项】：
一种加热匀胶的旋涂装置，其特征在于：所述装置包含有竖向设置的转轴（5），所述转轴（5）顶部套装有一水平设置的载物盘（1），所述转轴（5）上套装有隔热盘（4），所述隔热盘（4）上安装有加热盘（3），且加热盘（3）位于载物盘（1）的下方。
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