[实用新型]真空扩散泵有效
| 申请号： | 201620146099.0 | 申请日： | 2016-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN205349879U | 公开（公告）日： | 2016-06-29 |
| 发明（设计）人： | 汪金波;刘康乐;张俊杰;张玉巧 | 申请（专利权）人： | 湖北东田光电材料科技有限公司 |
| 主分类号： | F04F9/00 | 分类号： | F04F9/00 |
| 代理公司： | 重庆中之信知识产权代理事务所(普通合伙) 50213 | 代理人： | 张景根 |
| 地址： | 444100 湖北省*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型公布了一种真空扩散泵，包括泵体、冷却夹套和出气口，所述冷却夹套包裹在所述泵体的外侧，并与所述泵体形成一个可以盛装冷却液的冷凝腔，所述冷凝腔与进水管道和出水管道相通，所述泵体的内壁设有波纹管状的圆环结构。本实用新型可快速高效地冷却油蒸汽，使被抽气体在抽出时尽量减少夹杂的油蒸汽，防止污染气体。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 扩散 | ||
【主权项】：
一种真空扩散泵，包括泵体、冷却夹套和出气口，其特征在于：所述冷却夹套包裹在所述泵体的外侧，并与所述泵体形成一个可以盛装冷却液的冷凝腔；所述冷凝腔与进水管道和出水管道相通；所述泵体的内壁设有波纹管状的圆环结构。
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