[实用新型]抛光机有效
| 申请号： | 201620128085.6 | 申请日： | 2016-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN205363609U | 公开（公告）日： | 2016-07-06 |
| 发明（设计）人： | 段中红;曹喜平;韩晓翠;康建;梁旭东 | 申请（专利权）人： | 圆融光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02;B24B29/00 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 马爽;黄健 |
| 地址： | 243000 安徽省马鞍*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种抛光机，包括：抛盘和抛光液循环系统；该抛光液循环系统包括：依次顺序连接的过滤容器组件、反应容器组件和回收容器组件；过滤容器组件具有位于抛盘下方的入液口，以使抛盘上的抛光尾液经由入液口流入过滤容器组件中，过滤容器组件的出液口与反应容器组件的入液口相连接，反应容器组件的出液口与回收容器组件的入液口相连接；过滤容器组件用于过滤抛光尾液中的固体杂质；反应容器组件用于去除抛光尾液中的可溶杂质；回收容器组件用于使去除杂质后的抛光尾液与抛光液机油混合，并重新生成抛光液。从而可以节省抛光液，进而降低芯片的成本。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光机 | ||
【主权项】：
一种抛光机，其特征在于，所述抛光机包括：抛盘和抛光液循环系统；所述抛光液循环系统包括：依次顺序连接的过滤容器组件、反应容器组件和回收容器组件；所述过滤容器组件具有位于所述抛盘下方的入液口，以使所述抛盘上的抛光尾液经由所述入液口流入所述过滤容器组件中，所述过滤容器组件的出液口与所述反应容器组件的入液口相连接，所述反应容器组件的出液口与所述回收容器组件的入液口相连接；所述过滤容器组件用于过滤所述抛光尾液中的固体杂质；所述反应容器组件用于去除所述抛光尾液中的可溶杂质；所述回收容器组件用于使去除杂质后的抛光尾液与抛光液机油混合，并重新生成抛光液。
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