[实用新型]一种立式单开门多弧镀膜设备有效
| 申请号： | 201620125652.2 | 申请日： | 2016-02-17 |
| 公开（公告）号： | CN205398718U | 公开（公告）日： | 2016-07-27 |
| 发明（设计）人： | 宋永斌 | 申请（专利权）人： | 青岛优百宇真空设备股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 谈杰 |
| 地址： | 266000 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供了一种立式单开门多弧镀膜设备，该立式单开门多弧镀膜设备包括真空室、抽气机组以及电弧蒸发源；所述真空室与所述抽气机组连接，并为所述抽气机组提供真空环境，所述电弧蒸发源与所述抽气机组连接，并为所述抽气机组提供电弧；所述抽气机组由不锈钢管制成，并且所述不锈钢管的直径在50mm～120mm的范围内。本实用新型的立式单开门多弧镀膜设备通过改变加热方式，即由电磁加热替代电炉丝加热，从而可使升温速度提高30％～％50，并且能耗降低约20％；抽气机组改用大口径不锈钢管制造，从而可以大大提高抽气速度，且不易生锈，大大缩短维护时间并降低维护费用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 立式 开门 镀膜 设备 | ||
【主权项】：
一种立式单开门多弧镀膜设备，其特征在于，包括由不锈钢管制成的抽气机组、为所述抽气机组提供真空环境的真空室、以及为所述抽气机组提供电弧的电弧蒸发源；所述真空室与所述抽气机组连接，所述电弧蒸发源与所述抽气机组连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于青岛优百宇真空设备股份有限公司，未经青岛优百宇真空设备股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201620125652.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
