[实用新型]一种控制液体滴液量的装置有效
| 申请号： | 201620116051.5 | 申请日： | 2016-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN205539920U | 公开（公告）日： | 2016-08-31 |
| 发明（设计）人： | 马兆国;蔡荣华;黄建勋 | 申请（专利权）人： | 上海旭福电子有限公司;敦南微电子（无锡）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 上海东亚专利商标代理有限公司 31208 | 代理人： | 罗习群;陈臻晔 |
| 地址： | 201619 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种控制液体滴液量的装置，在储液罐顶部有进液管道和出液管道，出液管道滴液至均匀旋转的光刻晶片表面，所述进液管道装有调压阀，出液管道装有精密流量调节阀和流体截止阀、回液控制阀，储液罐顶部还装有卸压阀，在储液罐本体装有液面显示管，使出液管道滴出的液体流量达到0.05ml/滴。本实用新型的优点是，可应用于wafer光刻PG制程工艺，可以实现自动控制精确滴液量，减少二甲苯与人接触的机会，从而减少了对人体的伤害，而且增加了产品的涂布均匀性和稳定性，极大改善了PG外观缺陷，提升了产品品质及工艺稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 控制 液体 滴液量 装置 | ||
【主权项】：
一种控制液体滴液量的装置，在储液罐顶部有进液管道和出液管道，出液管道滴液至均匀旋转的光刻晶片表面，其特征在于，进液管道装有调压阀，出液管道装有精密流量调节阀和流体截止阀、回液控制阀，使出液管道滴出的液体流量达到0.05ml/滴，储液罐顶部还装有卸压阀，在储液罐本体装有液面显示管。
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