[实用新型]一种半导体芯片抛光机

摘要

本实用新型公开了一种半导体芯片抛光机，涉及功率半导体器件生产设备技术领域。一种半导体芯片抛光机，包括固定架，固定架上安装电机和调节开关，固定架顶部设置上台板，上台板上设置半圆孔，电机为空心轴电机，电机传动轴上设置空心轴，空心轴下方设置万向接头，万向接头底端设置抽气管，抽气管一端设置抽气机，空心轴顶端设置盖板，盖板上设置通孔，盖板与空心轴螺栓连接，空心轴与上台板连接处设置上轴承座，电机与固定架连接处设置下轴承座。本实用新型的有益效果在于：芯片固定效果好，结构简单，使用方便，提高了装置运行的稳定性。

主权项

一种半导体芯片抛光机，包括固定架(1)，其特征在于：所述固定架(1)底部安装电机(6)，所述固定架(1)上安装用于控制电机(6)转速的调节开关(7)，所述固定架(1)顶部设置上台板(2)，所述上台板(2)上设置半圆孔(5)，所述电机(6)为空心轴电机，所述电机(6)传动轴上设置空心轴(3)，所述空心轴(3)一端穿过上台板(2)暴露在上台板(2)顶端，所述空心轴(3)另一端穿过固定架(1)暴露在固定架(1)底端，所述空心轴(3)底部设置万向接头(8)，所述万向接头(8)底端设置抽气管(9)，所述抽气管(9)一端设置抽气机(10)。