[实用新型]DMD投影光路垂直线阵的激光直写垂直双面曝光系统有效
| 申请号： | 201620060017.0 | 申请日： | 2016-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN205539926U | 公开（公告）日： | 2016-08-31 |
| 发明（设计）人： | 马汝治;赵华;张伟;徐巍;王翰文 | 申请（专利权）人： | 江苏影速光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 徐州市三联专利事务所 32220 | 代理人： | 周爱芳 |
| 地址： | 221600 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种DMD投影光路垂直线阵的激光直写垂直双面曝光系统，包括：垂直置于底座（4）上表面的DMD集成组件（2）以及PCB板件（3）；所述DMD集成组件（2）为两套、垂直对称分布在PCB板件（3）两侧；其中，DMD集成组件（2）的Z轴方向上交叉分布多个DMD器件投影光路（1）对PCB板件（3）的A、B面同时进行垂直曝光；本实用新型通过在PCB板件两边垂直设置两套DMD器件投影光路能够同时曝光被曝光工件的正反两面，使得工作的效率提升一倍，更好的提高了产能，同时保证了产品的质量。 | ||
| 搜索关键词： | dmd 投影 垂直线 激光 垂直 双面 曝光 系统 | ||
【主权项】：
一种DMD投影光路垂直线阵的激光直写垂直双面曝光系统，其特征在于，包括：垂直置于底座（4）上表面的DMD集成组件（2）以及PCB板件（3）；所述DMD集成组件（2）为两套、垂直对称分布在PCB板件（3）两侧；其中，DMD集成组件（2）的Z轴方向上交叉分布多个DMD器件投影光路（1）对PCB板件（3）的A、B面同时进行垂直曝光。
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