[实用新型]光罩除尘设备

摘要

本实用新型提供一种光罩除尘设备，包括微处理器、激光探测棒、吸尘系统、导轨及驱动装置；激光探测棒、吸尘系统与导轨均设置在光罩的正上方，激光探测棒与微处理器连接，激光探测棒用于检测光罩上是否有异物并将检测结果发送至微处理器；吸尘系统与驱动装置均与微处理器连接，吸尘系统安装在导轨上并且吸尘系统的吸尘口朝向光罩，驱动装置安装在导轨上用于驱动吸尘系统沿着导轨移动；微处理器用于根据激光探测棒的检测结果控制驱动装置及吸尘系统的作动。本实用新型的光罩除尘设备可以对光罩进行实时检测，在发现光罩上有异物时对光罩进行吸尘处理，从而提升面板的合格率。

主权项

一种光罩除尘设备，其特征在于，包括微处理器(1)、激光探测棒(2)、吸尘系统(3)、导轨(4)及驱动装置；其中，所述激光探测棒(2)、所述吸尘系统(3)与所述导轨(4)均设置在光罩(6)的正上方，所述激光探测棒(2)与所述微处理器(1)连接，所述激光探测棒(2)用于检测所述光罩(6)上是否有异物并将检测结果发送至所述微处理器(1)；所述吸尘系统(3)与所述驱动装置均与所述微处理器(1)连接，所述吸尘系统(3)安装在所述导轨(4)上并且所述吸尘系统(3)的吸尘口朝向所述光罩(6)，所述驱动装置安装在所述导轨(4)上用于驱动所述吸尘系统(3)沿着所述导轨(4)移动；微处理器(1)用于根据所述激光探测棒(2)的检测结果控制所述驱动装置及所述吸尘系统(3)的作动。