[发明专利]晶圆测试系统在审
| 申请号： | 201611264465.3 | 申请日： | 2016-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN106597261A | 公开（公告）日： | 2017-04-26 |
| 发明（设计）人： | 罗斌;张志勇;祁建华;王锦;凌俭波 | 申请（专利权）人： | 上海华岭集成电路技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种晶圆测试系统，包括测试单元、控制单元、数据存储单元和显示与交互单元；所述测试单元用于对晶圆进行测试，并将测试数据存储于所述数据存储单元；所述控制单元根据显示与交互单元接收的指令，从数据存储单元中提取指定的测试晶圆的测试数据，并控制显示与交互单元按照指定显示模式通过一二维图像显示该指定的测试晶圆的具体测试数据。解决了传统晶圆测试系统无法方便地获取晶圆测试的具体测试信息的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 测试 系统 | ||
【主权项】：
一种晶圆测试系统，其特征在于，包括测试单元、控制单元、数据存储单元和显示与交互单元；所述测试单元用于对晶圆进行测试，并将测试数据存储于所述数据存储单元；所述控制单元根据显示与交互单元接收的指令，从数据存储单元中提取指定的测试晶圆的测试数据，并控制显示与交互单元按照指定显示模式通过一二维图像显示该指定的测试晶圆的具体测试数据。
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