[发明专利]一种芯片及其封装方法在审
申请号: | 201611248052.6 | 申请日: | 2016-12-29 |
公开(公告)号: | CN106783643A | 公开(公告)日: | 2017-05-31 |
发明(设计)人: | 陈峰;陆原 | 申请(专利权)人: | 华进半导体封装先导技术研发中心有限公司 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56;H01L21/782;H01L23/31 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司11332 | 代理人: | 孟金喆,胡彬 |
地址: | 214000 江苏省无锡市新区太湖国*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明实施例公开了一种芯片及其封装方法,该芯片封装方法包括将晶片贴附在贴片膜上并将晶片切割为多个芯片,其中,晶片的正面与贴片膜贴合;拉伸贴片膜以使贴附在贴片膜上的任意相邻两个芯片之间具有间隙;在任意相邻两个芯片之间的间隙内放置导电体,并在多个芯片的背离贴片膜的第一表面上形成绝缘层且露出导电体;去除贴片膜,并在多个芯片上布线且布线完成后切割以形成多个芯片产品。与现有技术相比,本发明实施例中无需提供一承载片并在承载片上贴芯片粘结胶以作为临时键合结构,也无需采用贴片工艺将裁切好的多个芯片按照一定间隔倒装在粘结胶上,因此无需采用临时键合工艺和贴片工艺,减少了封装工艺流程,降低了封装成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 芯片 及其 封装 方法 | ||
【主权项】:
一种芯片封装方法,其特征在于,包括:将晶片贴附在贴片膜上并将所述晶片切割为多个芯片,其中,所述晶片的正面与所述贴片膜贴合;拉伸所述贴片膜以使贴附在所述贴片膜上的任意相邻两个所述芯片之间具有间隙;在任意相邻两个所述芯片之间的间隙内放置导电体,并在所述多个芯片的背离所述贴片膜的第一表面上形成绝缘层且露出所述导电体;去除所述贴片膜,并在所述多个芯片上布线且布线完成后切割以形成多个芯片产品。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造