[发明专利]氧化镁氧化锌靶坯的制造方法在审
| 申请号： | 201611245666.9 | 申请日： | 2016-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN108249911A | 公开（公告）日： | 2018-07-06 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;相原俊夫;王学泽;王钜宝 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/453 | 分类号： | C04B35/453;C04B35/626;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 高静;吴敏 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种氧化镁氧化锌靶坯的制造方法，包括：提供氧化锌、氧化镁混合粉末；将所述氧化锌、氧化镁混合粉末装入模具后，对所述氧化锌、氧化镁混合粉末进行热压烧结工艺，形成氧化镁氧化锌合金；将所述氧化镁氧化锌合金从所述模具中取出，获得氧化镁氧化锌靶坯。相比常压烧结或冷压成型工艺的方案，本发明所述方案可以提高所形成氧化镁氧化锌靶坯的致密度以及微观结构均匀性、降低所述氧化镁氧化锌靶坯出现裂纹的概率，使所述氧化镁氧化锌靶坯的致密度可以达到98％及以上，且使所述氧化镁氧化锌靶坯具有均匀的色泽，从而提高所形成氧化镁氧化锌靶坯的性能，使所述氧化镁氧化锌靶坯具有稳定的物理性能且满足溅射靶材性能要求。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化镁 氧化锌靶 混合粉末 氧化锌 氧化锌合金 模具 冷压成型工艺 常压烧结 溅射靶材 热压烧结 微观结构 物理性能 性能要求 均匀性 装入 取出 制造 概率 | ||
【主权项】：
1.一种氧化镁氧化锌靶坯的制造方法，其特征在于，包括：提供氧化锌、氧化镁混合粉末；将所述氧化锌、氧化镁混合粉末装入模具后，对所述氧化锌、氧化镁混合粉末进行热压烧结工艺，形成氧化镁氧化锌合金；将所述氧化镁氧化锌合金从所述模具中取出，获得氧化镁氧化锌靶坯。
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