[发明专利]一种新型磁电调谐复合薄膜及其制备方法有效
| 申请号： | 201611245440.9 | 申请日： | 2016-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN106835134B | 公开（公告）日： | 2019-04-16 |
| 发明（设计）人： | 董显林;郭新;陈莹;王根水 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海硅酸盐研究所 |
| 主分类号： | C23C28/04 | 分类号： | C23C28/04;C23C28/00;H01L43/02;H01L43/12 |
| 代理公司： | 上海瀚桥专利代理事务所(普通合伙) 31261 | 代理人： | 郑优丽;熊子君 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种新型磁电调谐复合薄膜及其制备方法，所述磁电调谐复合薄膜自下而上包括依次形成于基底层上的钇铁石榴石薄膜层、电极层和钛酸锶铅薄膜层；所述钇铁石榴石薄膜层为钇铁石榴石铁磁相薄膜，化学组成为Y3Fe5O12；所述钛酸锶铅薄膜层为钛酸锶铅铁电相薄膜，化学组成为PbxSr(1‑x)TiO3，其中0.2≤x≤0.8。本发明制备工艺简单，无需特殊设备，有利于规模化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 磁电 调谐 复合 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种磁电调谐复合薄膜，其特征在于，所述磁电调谐复合薄膜自下而上包括依次形成于基底层上的钇铁石榴石薄膜层、电极层和钛酸锶铅薄膜层；所述电极层的材料为Pt、LaNiO3、SrRuO3、LaSrMnO3中的一种；所述钇铁石榴石薄膜层为钇铁石榴石铁磁相薄膜，化学组成为Y3Fe5O12；所述钛酸锶铅薄膜层为钛酸锶铅铁电相薄膜，化学组成为PbxSr(1‑x)TiO3，其中 0.2≤x≤0.8。
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