[发明专利]一种高硬度TiCrN/TiSiN纳米多层结构涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 201611235550.7 | 申请日： | 2016-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN106756833B | 公开（公告）日： | 2019-02-15 |
| 发明（设计）人： | 李伟;孙明达 | 申请（专利权）人： | 上海理工大学;上海达是能源技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/35;C23C14/14;C23C14/06;C23C14/02 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司 31001 | 代理人： | 吴宝根 |
| 地址： | 200093 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高硬度TiCrN/TiSiN纳米多层结构涂层，由多个TiCrN层和TiSiN层构成，TiCrN层和TiSiN层依次交替沉积在基体上，靠近基体的一层为TiCrN层。本发明还提供了上述涂层的制备方法，先将基体表面抛光处理，经超声波清洗和离子清洗后，首先沉积TiCr过渡层，再采用反应溅射法在基体上交替溅射TiSiN层和TiCrN层。当TiSiN中Si含量在8～16 at.%之间时，TiCrN/TiSiN纳米多层涂层可获得较高的硬度，其最高硬度值达到37.5GPa。本发明的涂层可作为保护性涂层应用在刀具、模具等承受摩擦磨损载荷的零件表面，从而提高零件的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 多层结构 高硬度 制备 超声波清洗 多层涂层 反应溅射 基体表面 交替沉积 交替溅射 离子清洗 零件表面 摩擦磨损 抛光处理 使用寿命 涂层应用 过渡层 沉积 模具 刀具 | ||
【主权项】：
1.一种高硬度TiCrN/TiSiN纳米多层结构涂层，其特征在于：所述涂层由多个TiCrN层和TiSiN层构成，所述的TiCrN层和TiSiN层依次交替沉积在基体上，靠近基体的一层为所述的TiCrN层，所述基体为金属、硬质合金或陶瓷中的任意一种，所述的TiCrN/TiSiN纳米多层结构涂层的总厚度为2‑4μm，所述的TiSiN层厚度小于1.2nm，所述的TiCrN层和TiSiN层均为面心立方结构。
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