[发明专利]回收挥发性有机氯化物气体的装置及方法在审
| 申请号： | 201611223769.5 | 申请日： | 2016-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN106540508A | 公开（公告）日： | 2017-03-29 |
| 发明（设计）人： | 方书农;梁重时;王溯;方云英 | 申请（专利权）人： | 上海新阳半导体材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/04 | 分类号： | B01D53/04 |
| 代理公司： | 上海脱颖律师事务所31259 | 代理人： | 李强 |
| 地址： | 201616 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了回收挥发性有机氯化物气体的装置及方法。本发明所述的回收挥发性有机氯化物气体的装置，其特征在于，包括一个或多个吸附塔，所述吸附塔中装置有吸附树脂；加热装置，所述加热装置与全部或部分所述吸附塔连通，用于将热气体或水蒸汽输入所述吸附塔内；第一冷凝器，所述第一冷凝器与全部或部分所述吸附塔连通；所述吸附塔内的吸附树脂吸附有机氯化物气体后，加热装置向所述吸附塔内输入热空气或水蒸汽，使吸附在所述吸附树脂上的有机氯化物气体脱离所述吸附树脂；并将有机氯化物气体输入第一冷凝器内冷凝为液体后输出。经过本发明回收装置和方法处理后排放出的有机氯化物浓度低于10mg/m3。 | ||
| 搜索关键词： | 回收 挥发性 有机 氯化物 气体 装置 方法 | ||
【主权项】：
回收挥发性有机氯化物气体的装置，其特征在于，包括：一个或多个吸附塔，所述吸附塔中装置有吸附树脂；加热装置，所述加热装置与全部或部分所述吸附塔连通，用于将热气体或水蒸汽输入所述吸附塔内；第一冷凝器，所述第一冷凝器与全部或部分所述吸附塔连通；所述吸附塔内的吸附树脂吸附有机氯化物气体后，加热装置向所述吸附塔内输入热空气或水蒸汽，使吸附在所述吸附树脂上的有机氯化物气体脱离所述吸附树脂；并将有机氯化物气体输入第一冷凝器内冷凝为液体后输出。
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