[发明专利]一种高精度温控电阻测试系统有效
| 申请号： | 201611216969.8 | 申请日： | 2016-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN106771619B | 公开（公告）日： | 2020-02-14 |
| 发明（设计）人： | 康晓旭 | 申请（专利权）人： | 上海集成电路研发中心有限公司 |
| 主分类号： | G01R27/02 | 分类号： | G01R27/02;G01R35/02;G01J5/00 |
| 代理公司： | 31275 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人： | 吴世华;陈慧弘 |
| 地址： | 201210 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高精度温控电阻测试系统，包括：样品平台，用于放置测试样品，所述样品平台设有导热平面，所述导热平面上具有热分散平面，所述测试样品置于热分散平面上；加热器，设于样品平台下方，用于将样品平台上的测试样品加热至测试温度；红外成像温度探测器，用于测量测试样品表面温度；探针，用于在测试样品表面温度达到测试温度时，对所述测试样品进行电阻测试。本发明可在实时监控样品表面所有位置温度值的同时，实现红外成像温度探测器的在线校准，从而能够保证对样品表面任意位置的电阻测试精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高精度 温控 电阻 测试 系统 | ||
【主权项】：
1.一种高精度温控电阻测试系统，其特征在于，包括：/n样品平台，用于放置测试样品，所述样品平台设有导热平面，所述导热平面上具有热分散平面，所述测试样品置于热分散平面上；/n加热器，设于样品平台下方，用于将样品平台上的测试样品加热至测试温度；/n红外成像温度探测器，用于测量测试样品表面温度；/n探针，用于在测试样品表面温度达到测试温度时，对所述测试样品进行电阻测试；/n可调温度的标准黑体，与所述加热器耦合为一体，作为所述测试样品的加热源，同时用于对所述红外成像温度探测器进行在线校准；/n其中，通过在样品平台上设置具有热分散平面的导热平面，进一步加强导热平面的温度均匀性，使待测样品得到均匀升温，从而使测试精度得到进一步提升；并且，在进行温度测试时，使用红外成像温度探测器实时监控样品表面所有位置的温度值，从而保证对样品表面任意位置的测试精度。/n
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