[发明专利]一种真空蒸镀机及其蒸镀方法有效
| 申请号： | 201611198716.2 | 申请日： | 2016-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN106591780B | 公开（公告）日： | 2019-12-31 |
| 发明（设计）人： | 沐俊应 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04;C23C14/54 |
| 代理公司： | 44304 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 | 代理人： | 孙伟峰;侯艺 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及平板显示技术领域，尤其是一种真空蒸镀机，包括控制台，以及安装于所述控制台上的承印台，所述承印台用于承载设置有隔离件的基板；打印装置，其与所述承印台对应设置，用于将各种材料蒸镀于所述基板的、相邻两个隔离件之间的蒸镀区域。本发明的真空蒸镀机避免了使用FMM，免去了FMM定期清洗；重新张网；FMM存储、运输、使用过程中易发生变形等问题，同时还简化了基板传送、承载方式。 | ||
| 搜索关键词： | 承印台 真空蒸镀机 隔离件 基板 蒸镀 平板显示技术 控制台 承载方式 打印装置 基板传送 张网 变形 清洗 存储 承载 运输 | ||
【主权项】：
1.一种真空蒸镀机，其特征在于，包括控制台，以及/n安装于所述控制台上的承印台，所述承印台用于承载设置有隔离件的基板；/n打印装置，其与所述承印台对应设置，用于将材料蒸镀于所述基板的、相邻两个隔离件之间的蒸镀区域，包括：/n坩埚，用于加热并使所述材料升华或挥发为气态；/n打印头，其设置有若干个喷枪，每个所述喷枪在所述材料对准所述蒸镀区域后喷出；/n连接于所述坩埚和所述打印头之间的输料管路；所述输料管路包括混合管以及若干条并联连接于所述混合管上的单管，所述单管、混合管的自由端分别与所述坩埚、打印头连接，用于气态材料的输送，若干种材料分别从独立的单管被一并送入混合管，进行蒸镀前的混合；/n其中，每种材料有独立的坩埚以及独立的单管来完成蒸汽的输送，每条单管均设有若干个相互独立的温度控制装置。/n
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