[发明专利]一种实现相邻晶圆对转的腐蚀装置及腐蚀方法

摘要

本发明公开一种实现相邻晶圆对转的腐蚀装置及腐蚀方法。该装置包括载具、机械手、腐蚀工艺槽和混酸槽；载具包括两组侧板和固定支撑两块侧板之间的固定杆；两组侧板上分别安装有载具中心驱动轴、载具中心驱动齿轮、载具驱动齿轮、载具反向驱动齿轮。载具固定套安装在载具中心驱动轴上；两组侧板之间安装有四组共八根有齿转杆；机械手具有与载具两侧的固定套锁紧的载具锁紧部，还包括械臂传动齿轮组、载具驱动电机和两个载具传动齿轮组；腐蚀工艺槽的底部通过酸液循环进液管连接混酸槽，腐蚀工艺槽两侧设有溢流槽连接至混酸槽。采用该装置对晶圆进行酸腐蚀能消除腐蚀剂局部旋涡，降低腐蚀痕迹发生率，提高腐蚀片表面均匀性，改善腐蚀片表面平坦度。

主权项

1.一种实现相邻晶圆对转的腐蚀装置，其特征在于，包括载具、机械手、腐蚀工艺槽和混酸槽；其中，所述载具包括两组侧板和固定支撑在两组侧板之间的固定杆；两组侧板上分别安装有载具中心驱动轴、载具中心驱动齿轮和载具驱动齿轮，载具固定套安装在载具中心驱动轴上，并位于载具中心驱动齿轮和载具驱动齿轮之间；两组侧板之间还安装有四组共八根有齿转杆，其中四根有齿转杆的两端均具有与载具中心驱动齿轮配合的有齿转杆传动齿轮，另外四根有齿转杆两端的驱动齿轮与相邻有齿转杆上的传动齿轮相配合，实现反向旋转；所述机械手具有载具锁紧部，该载具锁紧部与载具两侧的固定套锁紧，该机械手还包括械臂传动齿轮组、载具驱动电机和两个载具传动齿轮组，该两个载具传动齿轮组分别用于驱动载具两组侧板上的载具驱动齿轮；所述腐蚀工艺槽的底部通过酸液循环进液管连接混酸槽，该腐蚀工艺槽设有溢流槽，该溢流槽通过酸液循环回液管连接至混酸槽。