[发明专利]基于GaAs/Ge/GaAs异质结构的频率可重构全息天线制备方法在审
| 申请号： | 201611183933.4 | 申请日： | 2016-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN106602214A | 公开（公告）日： | 2017-04-26 |
| 发明（设计）人： | 尹晓雪;张亮 | 申请（专利权）人： | 西安科锐盛创新科技有限公司 |
| 主分类号： | H01Q1/22 | 分类号： | H01Q1/22;H01Q1/50;H01Q1/36;H01Q5/321 |
| 代理公司： | 西安智萃知识产权代理有限公司61221 | 代理人： | 刘长春 |
| 地址： | 710065 陕西省西安市高新区高新路86号*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于GaAs/Ge/GaAs异质结构的频率可重构全息天线制备方法；其中，所述可重构全息天线包括GeOI衬底、第一天线臂、第二天线臂、同轴馈线、直流偏置线及全息圆环；所述制备方法包括在所述GeOI衬底制作多个GaAs/Ge/GaAs异质结构的SPiN二极管串；由多个等长的GaAs/Ge/GaAs异质结构的SPiN二极管串形成所述第一天线臂和所述第二天线臂；制作八段等长的GaAs/Ge/GaAs异质结构的SPiN二极管串形成正八边形结构的所述全息圆环；制作所述同轴馈线以连接所述第一天线臂及所述第二天线臂，形成所述可重构全息天线；本发明制备的全息天线体积小、结构简单、易于加工、无复杂馈源结构、频率可快速跳变，且天线关闭时将处于电磁波隐身状态，易于组阵，可用作相控阵天线的基本组成单元。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 gaas ge 结构 频率 可重构 全息 天线 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种基于GaAs/Ge/GaAs异质结构的频率可重构全息天线制备方法，其特征在于，所述可重构全息天线包括GeOI衬底、第一天线臂、第二天线臂、同轴馈线、直流偏置线及全息圆环；其中，所述可重构全息天线制备方法包括：在所述GeOI衬底制作多个GaAs/Ge/GaAs异质结构的SPiN二极管；将多个GaAs/Ge/GaAs异质结构的SPiN二极管依次首尾相连形成多个GaAs/Ge/GaAs异质结构的SPiN二极管串；由多个等长的GaAs/Ge/GaAs异质结构的SPiN二极管串形成所述第一天线臂和所述第二天线臂；在所述第一天线臂和所述第二天线臂外侧制作八段等长的GaAs/Ge/GaAs异质结构的SPiN二极管串形成正八边形结构的所述全息圆环；制作所述同轴馈线以连接所述第一天线臂及所述第二天线臂，形成所述可重构全息天线。
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