[发明专利]一种半导体专用设备用的工作轴总成有效
| 申请号： | 201611183263.6 | 申请日： | 2016-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN106763230B | 公开（公告）日： | 2019-01-25 |
| 发明（设计）人： | 张敏杰;张文斌;贺东葛;赵岁花;刘宇光;王仲康;姚立新 | 申请（专利权）人： | 北京中电科电子装备有限公司 |
| 主分类号： | F16C35/08 | 分类号： | F16C35/08;F16C3/02 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;安利霞 |
| 地址： | 100176 北京市经*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种半导体专用设备用的工作轴总成，包括：轴套座、轴套以及工作轴；其中，轴套包括：与轴套座固定连接的轴套部、工作轴位于轴套部内；以及，与轴套部、工作轴均连接的环形固定部，环形固定部上设置有多个通孔；工作轴的侧壁的预设位置上设有第一法兰凸台、第二法兰凸台以及第三法兰凸台；第一法兰凸台内设置有第一差动螺旋机构；第二法兰凸台内设置有第二差动螺旋机构；第三法兰凸台内设置有辅助定位结构。本发明利用差动螺旋传动原理，使工作轴在预定方向上产生微小的角度变化，且该角度变化直接作用在工作轴上，可提高角度调整的效率和精度，同时提高半导体专用设备的稳定性、可靠性以及工作效率，操作简单，具有广泛的应用性。 | ||
| 搜索关键词： | 工作轴 凸台 半导体专用设备 轴套部 差动螺旋机构 环形固定部 第二法兰 第一法兰 法兰凸台 角度变化 轴套座 轴套 辅助定位结构 螺旋传动原理 工作效率 角度调整 预定方向 预设位置 应用性 总成本 侧壁 差动 通孔 | ||
【主权项】：
1.一种半导体专用设备用的工作轴总成，其特征在于，包括：轴套座、轴套以及工作轴；其中，所述轴套包括：与所述轴套座固定连接的轴套部，所述工作轴位于所述轴套部内；以及，与所述轴套部、所述工作轴均连接的环形固定部，所述环形固定部上设置有多个通孔；所述工作轴的侧壁的预设位置上设有第一法兰凸台、第二法兰凸台以及第三法兰凸台；所述第一法兰凸台内设置有第一差动螺旋机构，包括：第一差动螺杆；套设于所述第一差动螺杆第一端的第一滑动螺母；以及，套设于所述第一差动螺杆第二端的第一固定螺母；所述第一滑动螺母与所述第一法兰凸台固定连接；所述第二法兰凸台内设置有第二差动螺旋机构，包括：第二差动螺杆；套设于所述第二差动螺杆第一端的第二滑动螺母；以及，套设于所述第二差动螺杆第二端的第二固定螺母；所述第二滑动螺母与所述第二法兰凸台固定连接；所述第三法兰凸台内设置有辅助定位结构，包括：固定于所述第三法兰凸台内的定位轴座；与所述定位轴座卡接的定位轴；以及，穿过所述通孔与所述定位轴相接触的定位螺钉；所述第一差动螺杆的第二端以及所述第二差动螺杆的第二端均部分凸出于环形固定部。
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