[发明专利]一种特气分配箱及其零件更换方法

摘要

本发明涉及一种特气分配箱及其零件更换方法，包括氮气处理管路，利用氮气处理管路中高速流动的氮气产生虹吸负压，抽取待更换零件所在管路内部的特气，氮气主管路再向待更换零件所在管路内部灌入氮气，抽取与灌入重复多次，直至此管路中特气浓度趋近于零时，再更换待更换零件；用氮气处理管路替代现有技术中的外接抽气泵和尾气处理系统，有效避免受现场空间和环境的影响及厂务安排的制约，且零件更换操作简单安全，成功率高。

主权项

1.一种特气分配箱，其特征在于，包括第一特气主管路(1)，所述第一特气主管路(1)的一端用于与特气供应系统连接，另一端分别与至少两个特气支管路(2)的一端连接，每个所述特气支管路(2)的另一端分别用于与待供气机台连接；所述第一特气主管路(1)上设置有第一特气主管路阀(11)，每个所述特气支管路(2)上沿特气供应方向依次设置有第一特气支管路阀(21)和第二特气支管路阀(22)；每个所述特气支管路(2)位于所述第一特气支管路阀(21)和第二特气支管路阀(22)之间的部分连接有第一氮气支管路(31)，每个所述第一氮气支管路(31)相对所述特气支管路(2)的另一端均与氮气主管路(3)的一端连接，所述氮气主管路(3)的另一端用于与氮气供应系统连接，每个所述第一氮气支管路(31)上设置有第一氮气支管路阀(311)；还包括氮气处理管路(4)，所述氮气处理管路(4)的一端用于与氮气供应系统连接，另一端用于与尾气处理系统连接；每个所述特气支管路(2)位于所述第一特气支管路阀(21)和第二特气支管路阀(22)之间的部分还连接有第二氮气支管路(41)，每个所述第二氮气支管路(41)相对所述特气支管路(2)的另一端均与所述氮气处理管路(4)位于氮气供应系统和尾气处理系统之间的部分连接，每个所述第二氮气支管路(41)上设置有第二氮气支管路阀(411)，每个所述第二氮气支管路(41)位于特气支管路(2)和第二氮气支管路阀(411)之间的部分设置有第一压力传感器(412)。