[发明专利]涂布器清洗装置和涂布装置有效
| 申请号： | 201611149559.6 | 申请日： | 2016-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN106914366B | 公开（公告）日： | 2020-11-17 |
| 发明（设计）人： | 堀内展雄 | 申请（专利权）人： | 东丽工程株式会社 |
| 主分类号： | B05B13/04 | 分类号： | B05B13/04;B05B15/55 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;于靖帅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供涂布器清洗装置和涂布装置，抑制在涂布器中产生因热变形而导致的变形。涂布器清洗装置对涂布器进行清洗，涂布器从沿一个方向延伸的缝喷嘴喷出涂布液而在基板上形成涂布膜，其中，涂布器清洗装置具有：清洗槽，其是以能够浸渍涂布器的缝喷嘴的方式沿一个方向延伸的形状；清洗液提供部，其向清洗槽提供清洗液；以及振子，其对清洗槽内的清洗液施加振动波，清洗液提供部在长度方向上对清洗槽内提供清洗液，并且清洗液的提供量被设定为与清洗槽的长度方向两端部相比在中央部分多，清洗槽具有使清洗液排出到长度方向两端部的溢流部，构成为在使缝喷嘴浸渍在清洗槽中的状态下，清洗槽内的清洗液的流动从长度方向中央部分朝向溢流部流动。 | ||
| 搜索关键词： | 涂布器 清洗 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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