[发明专利]真空泵及在其中使用的分割静翼部有效
| 申请号： | 201611139867.0 | 申请日： | 2016-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN106917778B | 公开（公告）日： | 2021-02-19 |
| 发明（设计）人： | 大立好伸;前岛靖;高阿田勉 | 申请（专利权）人： | 埃地沃兹日本有限公司 |
| 主分类号： | F04D29/54 | 分类号： | F04D29/54;F04D19/04 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 张雨;傅永霄 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够有效地防止分割静翼部的抵接不良、适于得到良好的排气性能的真空泵。真空泵具备涡轮分子泵部，所述涡轮分子泵部具有静翼部和旋转的动翼部，由前述动翼部和前述静翼部将气体排出，所述静翼部通过将在圆周方向上形成的至少一个轮缘和具有与该轮缘一体地形成的多个叶片的多个分割静翼部（11A、11B）相互在圆周方向端部（12a、12a）上抵接而构成为环状；在至少一个前述分割静翼部的圆周方向端部，具有防止与其他的前述分割静翼部的圆周方向端部的抵接不良的抵接不良防止构造。 | ||
| 搜索关键词： | 真空泵 其中 使用 分割 静翼部 | ||
【主权项】：
暂无信息
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