[发明专利]基于拉伸PDMS光栅调控光栅周期变化率的方法

摘要

本发明涉及一种基于拉伸PDMS光栅调控光栅周期变化率的方法，制作基于PDMS的变周期光栅用光刻或机械刻化制作母模版光栅；将制作的母模版光栅上的光栅图案转移到PDMS薄膜上；对制作后基于PDMS的变周期光栅进行拉伸将制作后PDMS薄膜平整在夹持在一维平移拉伸台上，薄膜一端固定，另一端夹持在可移动平台上，沿着垂直于光栅栅线的方向在PDMS弹性范围内拉伸一定的长度；对拉伸后变周期光栅进行检测检测拉伸后的PDMS薄膜的线密度，在薄膜中间区域内，光栅线密度的分布呈线性变化；调节等腰梯形PDMS薄膜的底角并在相同的载荷再拉伸，得到不同的呈线性变化的光栅线密度的分布。工艺简单，可控性高，制作成本低、周期短。

主权项

一种基于拉伸PDMS光栅调控光栅周期变化率的方法，其特征在于，具体步骤如下：1）制作基于PDMS的变周期光栅：A: 用光刻或机械刻化制作母模版光栅；B: 将步骤A制作的母模版光栅上的光栅图案转移到PDMS薄膜上,具体步骤：a、将预聚物和固化剂按照20：1的体积配比，将混合好的PDMS液体放在真空干燥箱中，保持抽真空状态直至液体中无气泡为止；b、将抽好真空的PDMS液体倒在光栅模板表面，并在100℃下加热固化1小时，然后冷却；c、将PDMS薄膜从光栅模板上剥离下来，按照具有不同底角的等腰梯形形状切割出不同块的PDMS薄膜备用；2）对制作后基于PDMS的变周期光栅进行拉伸：将步骤1）制作后PDMS薄膜平整在夹持在一维平移拉伸台上，薄膜一端固定，另一端夹持在可移动平台上，沿着垂直于光栅栅线的方向在PDMS弹性范围内拉伸一定的长度；3）对拉伸后基于PDMS的变周期光栅进行检测：检测拉伸后的PDMS薄膜的线密度，在薄膜中间区域内，光栅线密度的分布呈线性变化；4）调节步骤2）等腰梯形PDMS薄膜的底角，再进行步骤3）的检测，得到不同的呈线性变化的光栅线密度的分布。