[发明专利]复合衬底及其制备方法、及外延片在审
| 申请号： | 201611131406.9 | 申请日： | 2016-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN106505095A | 公开（公告）日： | 2017-03-15 |
| 发明（设计）人： | 林岳明 | 申请（专利权）人： | 苏州爱彼光电材料有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/06 | 分类号： | H01L29/06;H01L21/18 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 | 代理人： | 唐清凯 |
| 地址： | 215215 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种复合衬底，其包括硅衬底层以及用于生长外延层的蓝宝石衬底层；所述蓝宝石衬底层键合在所述硅衬底层上。上述复合衬底，由蓝宝石衬底层与硅衬底层采用键合工艺成为一体，该复合衬底，可以在蓝宝石衬底层上生长高质量的外延层(例如高质量的氮化镓层)，从而可以制造出性能优异的电力器件，同时该复合衬底的硅衬底层，可以满足大尺寸主流生产线的需求，与现有的硅衬底工艺兼容；从而可以有效降低电力器件的成本较低。本发明还公开了一种复合衬底的制备方法及外延片。 | ||
| 搜索关键词： | 复合 衬底 及其 制备 方法 外延 | ||
【主权项】：
一种复合衬底，其特征在于，包括：硅衬底层；以及蓝宝石衬底层，用于生长外延层；所述蓝宝石衬底层键合在所述硅衬底层上。
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