[发明专利]一种托卡马克第一镜综合清洗平台

摘要

本发明公开了一种托卡马克第一镜综合清洗平台，包括真空系统、等离子体放电系统、激光清洗系统。本发明将等离子体清洗和激光综合到同一真空室，可利用等离子体放电的真空环境进行激光清洗，实现在真空环境下对第一镜进行激光清洗，并可利用合适的激光光路实时测量反射率，评估清洗效果并深入探索其时间演化过程及可能的清洗机理。激光器四个波长可调，激光打标模式多样，实现大面积扫描单一及复合沉积层的机理。

主权项

一种托卡马克第一镜综合清洗平台，其特征在于：包括真空系统、等离子体放电系统、激光清洗系统，其中：真空系统包括真空室，以及向真空室内通入工作气体的气源，所述真空室具有多个不同角度的光学窗口；等离子体放电系统包括射频电源、匹配器，待清洗的第一镜置于真空室内，射频电源的输出端与匹配器的输入端连接，匹配器的输出端通过射频电缆线与第一镜连接，由接入射频电源的第一镜作为放电电极；激光清洗系统设置在真空室外，激光清洗系统包括具有多个波长输出的激光器，激光器的出射光路上依次设有变焦扩束望远镜、分束镜，分束镜的透射光路上依次设有会聚透镜、扫描振镜、角度可调的反射镜，且反射镜可对准真空室任意一个光学窗口；气源向真空室内通入工作气体，真空室内第一镜接通射频电源后放电，使工作气体电离成等离子体，在真空室内形成等离子清洗环境；激光器发出的激光经变焦扩束望远镜后入射至分束镜，部分激光被分束镜透射作为清洗光束，清洗光束再依次经过会聚透镜、扫描振镜后被反射镜反射至真空室其中一个光学窗口，使清洗光束由该光学窗口进入真空室并入射至第一镜，实现对第一镜的清洗。