[发明专利]基于双面键合工艺的微色谱柱及其制备方法在审
| 申请号： | 201611124553.3 | 申请日： | 2016-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN108181413A | 公开（公告）日： | 2018-06-19 |
| 发明（设计）人： | 冯飞;李昕欣 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | G01N30/60 | 分类号： | G01N30/60;B81C3/00 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 罗泳文 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种基于双面键合工艺的微色谱柱及其制备方法，所述制备方法包括步骤：在一块硅片上正、反两面刻蚀微色谱柱所需的微沟道，随后分两步分别在该硅片的正反两面完成硅玻璃阳极键合，最后获得玻璃‑硅‑玻璃结构的双色谱柱芯片；或者在两块硅片上分别刻蚀出微色谱柱所需的微沟道，随后分两步分别在一块玻璃片的正反两面完成硅玻璃键合，最后获得硅‑玻璃‑硅结构的双色谱柱芯片。当采用微色谱柱和微热导检测器组成微型气相色谱仪时，只需一个本发明所提供的双面键合的微色谱柱芯片，具有便于安装，节省材料成本等诸多优点，在微电子机械系统领域尤其是色谱分析领域具有广泛的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 色谱柱 双面键合 硅片 制备 双色谱柱 正反两面 芯片 微沟道 刻蚀 检测器 微电子机械系统 微型气相色谱仪 硅玻璃键合 玻璃 便于安装 玻璃结构 节省材料 色谱分析 阳极键合 玻璃片 硅玻璃 硅结构 微热 应用 | ||
【主权项】：
1.一种微色谱柱，其特征在于：包括：一硅衬底，所述硅衬底的正面及反面均形成有微色谱柱所需的微沟道；两键合片，分别键合于所述硅衬底的正面及反面，形成同一个硅衬底正面及反面上的两个微色谱柱。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院上海微系统与信息技术研究所，未经中国科学院上海微系统与信息技术研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201611124553.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
