[发明专利]一种单相机平衡型光学相干层析扫描装置及方法

摘要

本发明涉及一种单相机平衡型光学相干层析扫描装置及方法，装置包括有光源模块、准直调节模块、干涉光学模块、光路模块、分光聚焦模块以及采集记录模块。本发明结合几何光学和频域光学相干层析技术的基础上，通过采集干涉光谱并经过傅里叶变换后可以获得被测材料的深度结构信息，能有效提升频域光学相干层析技术测量结果的信噪比。具有非接触、无辐射、高分辨率、高灵敏度测量等优点。

主权项

1.一种单相机平衡型光学相干层析扫描装置，其特征在于：包括有光源模块(1)，发射低相干宽带光；准直调节模块(2)，把光源模块(1)发射出来的低相干宽带光准直并调节光的形状和尺寸；干涉光学模块(3)，将准直调节模块(2)发射过来的光分成照射被测样件的照射光和照射光楔的照射光，并使得来自被测样件的反射光和光楔的反射光互相干涉，产生两束干涉光；光路模块(4)，使干涉光学模块(3)产生的两束干涉光在空间上分离后照射至分光聚焦模块；分光聚焦模块(5)，使两束在空间上分离的反射光分光并聚焦成像；采集记录模块(6)，采集记录经过分光聚焦后的两束干涉光光谱；所述干涉光学模块(3)由第一分光棱镜(3‑1)、第一聚焦透镜(3‑2)、第二聚焦透镜(3‑3)以及光楔(3‑4)组成，其中，被测样件和光楔(3‑4)分别位于第一分光棱镜(3‑1)垂直的两个方向上，准直调节模块(2)发射过来的光经过第一分光棱镜(3‑1)分成两束照射光，一束经过位于第一分光棱镜(3‑1)和被测样件之间的第一聚焦透镜(3‑2)直达被测样件，另外一束经过位于第一分光棱镜(3‑1)和照射光楔(3‑4)之间的第二聚焦透镜(3‑3)直达光楔(3‑4)，该两束照射光分别在被测样件和光楔(3‑4)上产生反射，形成两束反射回第一分光棱镜(3‑1)的反射光；所述两束反射光在第一分光棱镜(3‑1)上产生干涉作用，形成两束干涉光。