[发明专利]碳化硅硬质膜的制备方法及玻璃有效
| 申请号： | 201611104056.7 | 申请日： | 2016-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN106521443B | 公开（公告）日： | 2020-04-21 |
| 发明（设计）人： | 何建军;魏宇新;方凤军;江涛;陈多;洪蒙 | 申请（专利权）人： | 宜昌南玻显示器件有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06;C03C17/22 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 徐春祺 |
| 地址： | 443000*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种碳化硅硬质膜的制备方法及玻璃，该方法以碳原子数为1～4的有机气体为反应气体，以含有氩气的气体为工艺气体，采用硅靶作为溅射靶材，控制反应温度为100℃～300℃，在衬底上磁控溅射沉积碳化硅硬质膜。这种方法能够制备厚度为 |
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| 搜索关键词： | 碳化硅 质膜 制备 方法 玻璃 | ||
【主权项】：
一种碳化硅硬质膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：提供衬底；以及将所述衬底置于磁控溅射设备腔体内，真空条件下，以含有碳原子数为1～4的有机气体为反应气体，以含有氩气的气体为工艺气体，采用硅靶作为溅射靶材，控制反应温度为100℃～300℃，在所述衬底上磁控溅射沉积碳化硅硬质膜。
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