[发明专利]一种利用空气进行的氦质谱检漏仪吸枪定标检漏方法在审
申请号: | 201611100669.3 | 申请日: | 2016-12-05 |
公开(公告)号: | CN106383012A | 公开(公告)日: | 2017-02-08 |
发明(设计)人: | 黄文平;陈然 | 申请(专利权)人: | 安徽皖仪科技股份有限公司 |
主分类号: | G01M3/20 | 分类号: | G01M3/20 |
代理公司: | 安徽合肥华信知识产权代理有限公司34112 | 代理人: | 余成俊 |
地址: | 230088 安徽省合肥市*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明公开了一种利用空气进行的氦质谱检漏仪吸枪定标检漏方法,由氦质谱检漏仪专用吸枪和氦质谱检漏仪组成。通过控制吸枪的流量,连接到氦质谱检漏仪分子泵的中检口,利用空气中稳定的氦气浓度替代正压漏孔,对吸枪进行定标,从而实现没有正压漏孔的情况下进行定标,避免利用正压漏孔定标时的误差,准确方便,节省检漏仪使用维护成本,提高检漏仪的使用效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 利用 空气 进行 氦质谱 检漏 仪吸枪 定标 方法 | ||
【主权项】:
一种利用空气进行的氦质谱检漏仪吸枪定标检漏方法,其特征在于:将氦质谱检漏仪用吸枪连接在氦质谱检漏仪的检漏口上,并将吸枪放置在无氦气污染的空气环境中,定标时空气中的氦气通过吸枪枪口进入氦质谱检漏仪中,通过氦质谱检漏仪程序控制氦质谱检漏仪内部阀门开启,使氦气进入氦质谱检漏仪中分子泵中检口,氦气逆扩散进入氦质谱检漏仪的质谱系统,被电离、接收和放大,此时的氦离子流采样为标漏信号,然后将吸枪枪口用密封垫堵住,稳定后采样为本底信号,空气定标即完成。
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