[发明专利]一种超高真空样品输运系统

摘要

本发明公开了超高真空样品输运系统，包括超高真空样品输运小车和串联的超高真空样品室，串联的超高真空样品室之间设有闸板阀片，超高真空样品室铺设轨道；且所述的超高真空样品输运小车主要由2个超高真空样品存储台，超高真空样品存储台顶端均设有固定在样品存储台的永磁铁，设有隔磁金属板隔离在2个超高真空样品存储台之间，超高真空样品输运小车下部设有4‑6个独特的小车导向轮，且小车导向轮在所述轨道上运行，串联的超高真空样品室外表面设有驱动磁铁。实现在超高真空传送系统内同时完成16块样品的输运。 1

主权项

1.超高真空样品输运系统，其特征是包括超高真空样品输运小车和串联的超高真空样品室，串联的超高真空样品室之间设有闸板阀片，超高真空样品室铺设轨道；且所述的超高真空样品输运小车设有2个超高真空样品存储台，该超高真空样品存储台是一个八面体结构，能同时装载16块样品进行输运；超高真空样品存储台顶端均设有固定在样品存储台的永磁铁，设有隔磁金属板隔离在2个超高真空样品存储台之间，超高真空样品输运小车下部设有4‑6个独特的小车导向轮，且小车导向轮在所述轨道上运行，串联的超高真空样品室外表面设有驱动磁铁；所述2个固定在超高真空样品存储台的永磁铁实现超高真空样品小车在传送系统内的运动，同时，样品存储台通过旋转轴安装在样品小车上，所述小车导向轮在超高真空传送系统内固定的轨道上平滑运动，并实现小车在闸板阀之间的跨越运动；所述隔磁金属板隔离在2个超高真空品存储台之间，排除2个永磁铁之间的相互干扰。