[发明专利]一种磁控去除硅化物颗粒的尾气处理装置

摘要

本发明提供一种磁控去除硅化物颗粒的尾气处理装置，包括：第一收容腔体；第二收容腔体，连接于第一收容腔体下方，并与第一收容腔体连通；进气管，连接于第一收容腔体，用于向第一收容腔体内输入尾气；刮刀，设于第一收容腔体内；被动磁铁，镶嵌于刮刀内；主动磁铁，设于第一收容腔体外，用于驱动被动磁铁，使刮刀沿第一收容腔体内侧壁运动，以刮除附着在第一收容腔体内侧壁上的硅化物颗粒；喷淋头，设于第二收容腔体内，用于喷淋出水。本发明的尾气处理装置通过磁力控制刮刀的运动，拥有良好的密封性能，主动磁铁可以被完全放置在管线外部，不会影响管线的密封性。同时，主动磁铁很容易被电机驱动，无需使用高纯氮气，有利于降低成本。

主权项

一种磁控去除硅化物颗粒的尾气处理装置，其特征在于，包括：第一收容腔体；第二收容腔体，连接于所述第一收容腔体下方，并与所述第一收容腔体连通；进气管，连接于所述第一收容腔体，用于向所述第一收容腔体内输入尾气；刮刀，设于所述第一收容腔体内；被动磁铁，镶嵌于所述刮刀内；主动磁铁，设于所述第一收容腔体外，用于驱动所述被动磁铁，使所述刮刀沿第一收容腔体内侧壁运动，以刮除附着在所述第一收容腔体内侧壁上的硅化物颗粒；喷淋头，设于所述第二收容腔体内，用于喷淋出水，使由所述第一收容空腔体进入所述第二收容腔体的尾气与水反应，并将反应生成的硅化物颗粒冲入所述第二收容腔体。