[发明专利]一种基板放置位置的修正装置、方法和系统

摘要

本公开涉及一种基板放置位置的修正装置、方法和系统，涉及工业制造领域，该装置应用于支撑架，包括：距离传感器组、传输组件和处理单元，距离传感器组包括设置于支撑架面板的第一边缘一侧的至少两个距离传感器，以及设置于支撑架面板的第二边缘一侧的至少一个距离传感器；至少两个距离传感器分别用于获取与第一边缘的距离，至少一个距离传感器用于获取与第二边缘的距离；传输组件与距离传感器组连接，用于将至少两个距离传感器分别与第一边缘的距离以及至少一个距离传感器与第二边缘的距离发送给处理单元；处理单元用于根据该信息获取针对当前要放置在支撑架面板上的基板的位置修正参数。

主权项

一种基板放置位置的修正装置，其特征在于，应用于支撑架，所述支撑架包括支撑架面板，所述装置包括：距离传感器组、传输组件和处理单元，所述距离传感器组包括设置于所述支撑架面板的第一边缘一侧的至少两个距离传感器，以及设置于所述支撑架面板的第二边缘一侧的至少一个距离传感器，所述第一边缘与所述第二边缘为所述支撑架面板的两个相交的边缘；所述至少两个距离传感器用于在监测到所述支撑架面板的位置发生变化时，获取所述至少两个距离传感器分别与所述第一边缘的距离，所述至少一个距离传感器用于在监测到所述支撑架面板的位置发生变化时获取所述至少一个距离传感器与所述第二边缘的距离；所述传输组件与所述距离传感器组连接，用于将所述至少两个距离传感器分别与所述第一边缘的距离以及所述至少一个距离传感器与所述第二边缘的距离发送给所述处理单元；所述处理单元用于根据所述至少两个距离传感器分别与所述第一边缘的距离以及所述至少一个距离传感器与所述第二边缘的距离获取针对当前要放置在所述支撑架面板上的基板的位置修正参数。