[发明专利]一种基于量测光阻膜厚监控光阻洗边精度的方法及系统有效
| 申请号： | 201611079480.0 | 申请日： | 2016-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN106556976B | 公开（公告）日： | 2018-06-12 |
| 发明（设计）人： | 李碧峰 | 申请（专利权）人： | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F7/26 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 杨立;李蕾 |
| 地址： | 430205 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于量测光阻膜厚监控光阻洗边精度的方法及系统，其方法包括以下步骤,S1，洗边机台按照预设的洗边对涂有光阻的控片进行光阻洗边；S2，在膜厚机台上对预设的洗边设定一个规格范围,并根据设定的规格范围建立多个膜厚测量点，并根据多个膜厚测量点对光阻洗边后的控片的对应位置分别进行光阻膜厚量测，输出多个膜厚测量点的位置信息；S3，将输出的多个膜厚测量点的位置信息与设定的规格范围进行对比，确定洗边机台的光阻洗边精度。本发明可以定期监控，及时地监控洗边机台的光阻洗边精度的变化，及时发现问题，减少良率损失；同时可以避免采用游标卡尺认为测量造成的误差，提高测量光阻洗边的测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 洗边 膜厚测量 光阻 洗边机台 光阻膜 监控光 控片 量测 预设 测量 输出 定期监控 范围建立 游标卡尺 测量光 厚量 良率 膜厚 监控 发现 | ||
【主权项】：
一种基于量测光阻膜厚监控光阻洗边精度的方法，其特征在于：包括以下步骤,S1，洗边机台按照预设的洗边对涂有光阻的控片进行光阻洗边；S2，在膜厚机台上对预设的洗边设定一个规格范围,并根据设定的规格范围建立多个膜厚测量点，并根据多个膜厚测量点对光阻洗边后的控片的对应位置分别进行光阻膜厚量测，输出多个膜厚测量点的位置信息；S3，将输出的多个膜厚测量点的位置信息与设定的规格范围进行对比，确定洗边机台的光阻洗边精度；所述步骤S3具体为，S31，建立统计过程控制程序，并通过统计过程控制程序获取多个膜厚测量点的位置数据和设定的规格范围；S32，将获取到的多个膜厚测量点的位置数据和设定的规格范围进行对比，确定洗边机台的光阻洗边精度。
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