[发明专利]无尘装置及其无尘化方法有效
申请号: | 201611075566.6 | 申请日: | 2016-11-29 |
公开(公告)号: | CN108119951B | 公开(公告)日: | 2020-07-24 |
发明(设计)人: | 叶挺;傅乾杰;陈永明;梁敬姣 | 申请(专利权)人: | 宁波舜宇光电信息有限公司 |
主分类号: | F24F1/0073 | 分类号: | F24F1/0073;F24F1/0018;F24F13/28;F24F13/00;F24F13/08;F24F11/89;B01D46/00 |
代理公司: | 宁波理文知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 33244 | 代理人: | 罗京;孟湘明 |
地址: | 315400 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 一无尘装置及其无尘化方法,其中所述无尘装置包括一送风单元;一无尘单元和一抽风单元;其中所述送风单元为所述无尘单元送入过滤气体,所述抽风单元在预定方向隔离地释放所述无尘单元的气体,使得所述无尘单元中的气体按预定方向流动,从而提高所述无尘单元气体置换效率,以提供良好的无尘环境。 | ||
搜索关键词: | 装置 及其 无尘化 方法 | ||
【主权项】:
一无尘装置,其特征在于,包括:一送风单元;一无尘单元;和一抽风单元;其中所述送风单元为所述无尘单元送入过滤气体,所述抽风单元在预定方向隔离地释放所述无尘单元的气体,使得所述无尘单元中的气体按预定方向流动。
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