[发明专利]腔室在审
| 申请号： | 201611061883.2 | 申请日： | 2016-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN108118287A | 公开（公告）日： | 2018-06-05 |
| 发明（设计）人： | 杨敬山;郭浩 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种腔室，包括用于承载被加工工件的承载件，以及设置在其上方的加热装置，该加热装置用于朝向被加工工件辐射热量，加热装置包括：安装板，设置在承载件的上方；热源，设置在安装板的下方，且沿安装板的周向间隔分布；调节组件，调节组件设置在安装板上并与热源连接，能使热源沿安装板的径向移动。本发明提供的腔室，其可以满足对多种尺寸的被加工工件的加热均匀性的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 安装板 被加工工件 加热装置 热源 调节组件 承载件 腔室 加热均匀性 辐射热量 径向移动 周向间隔 种腔室 承载 | ||
【主权项】：
一种腔室，包括用于承载被加工工件的承载件，以及设置在所述承载件上方的加热装置，所述加热装置用于向所述被加工工件辐射热量，其特征在于，所述加热装置包括：安装板，所述安装板设置在所述承载件上方；热源，所述热源设置在所述安装板的下方；调节组件，所述调节组件设置在所述安装板上并与所述热源连接，能使所述热源沿所述安装板的径向移动。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京北方华创微电子装备有限公司，未经北京北方华创微电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201611061883.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
