[发明专利]压电元件、压电元件的形成方法及超声波装置有效
| 申请号： | 201611052700.0 | 申请日： | 2016-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN107068849B | 公开（公告）日： | 2021-08-24 |
| 发明（设计）人： | 松田洋史 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | H01L41/047 | 分类号： | H01L41/047;H01L41/29 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 田喜庆;吴孟秋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供压电元件、压电元件的形成方法及超声波装置。提供能够减少设于压电体的第一布线与第二布线因金属膜的残渣而短路的压电元件。压电元件(1)具备：压电体(4)，设于基板(2)上，并具有多条边；第一布线(6)，从压电体(4)设置到基板(2)；以及第二布线(7)，从压电体(4)设置到基板(2)，从压电体(4)的厚度方向观察，压电体(4)与第一布线(6)重叠的第二边(4b)、第四边(4d)和压电体(4)与第二布线(7)重叠的第一边(4a)、第三边(4c)为不同的边。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 元件 形成 方法 超声波 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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