[发明专利]一种测量空心阴极腐蚀产物的方法在审
申请号: | 201611044866.8 | 申请日: | 2016-11-24 |
公开(公告)号: | CN106442697A | 公开(公告)日: | 2017-02-22 |
发明(设计)人: | 宁中喜;张海广;于达仁;王亚楠;韩星;刘晨光 | 申请(专利权)人: | 哈尔滨工业大学 |
主分类号: | G01N27/62 | 分类号: | G01N27/62 |
代理公司: | 哈尔滨市松花江专利商标事务所23109 | 代理人: | 岳昕 |
地址: | 150001 黑龙*** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
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摘要: | 一种测量空心阴极腐蚀产物的方法,涉及空心阴极腐蚀产物的测量技术,为了解决现有测量空心阴极腐蚀产物的方法破坏性强,且不能实时检测空心阴极腐蚀产物的问题。空心阴极工作在所需研究的工况下;质谱仪收集空心阴极出射的物质,根据质谱仪得到的质谱图确定腐蚀产物的种类及腐蚀产物的物质的量。本发明适用于测量空心阴极腐蚀产物。 | ||
搜索关键词: | 一种 测量 空心 阴极 腐蚀 产物 方法 | ||
【主权项】:
一种测量空心阴极腐蚀产物的方法,其特征在于,该方法包括以下步骤:空心阴极工作在所需研究的工况下;质谱仪收集空心阴极出射的物质,根据质谱仪得到的质谱图确定腐蚀产物的种类及腐蚀产物的物质的量。
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