[发明专利]正型光致抗蚀剂组合物有效
| 申请号： | 201611043624.7 | 申请日： | 2016-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN106933034B | 公开（公告）日： | 2023-01-06 |
| 发明（设计）人： | 增田靖男;黑岩靖司 | 申请（专利权）人： | 东京应化工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039;G03F7/022;G03F7/004;G03F7/00;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 薛海蛟 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供正型光致抗蚀剂组合物、具备包含该正型光致抗蚀剂组合物的感光膜的带感光膜的基板、以及使用该正型光致抗蚀剂组合物的图案化的抗蚀剂膜的形成方法。在包含(A)线型酚醛树脂和(B)感光剂、或者包含含有萘醌二叠氮基的(A’)线型酚醛树脂的正型感光性组合物中，使(A)线型酚醛树脂中含有规定量的可溶于pH12的碱性水溶液的规定结构的(A1)线型酚醛树脂、或者使用来自包含规定量该(A1)线型酚醛树脂的(A)线型酚醛树脂的(A’)线型酚醛树脂。 | ||
| 搜索关键词： | 正型光致抗蚀剂 组合 | ||
【主权项】：
一种正型光致抗蚀剂组合物，其包含(A)线型酚醛树脂和(B)感光剂，所述(A)线型酚醛树脂包含含有来自苯酚的单元且可溶于pH12的碱性水溶液的(A1)线型酚醛树脂，所述(A1)线型酚醛树脂的质量相对于所述(A)线型酚醛树脂的质量的比率超过50质量％，所述(B)感光剂为具有萘醌二叠氮基的化合物。
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