[发明专利]一种多层膜电化学沉积设备及方法在审
| 申请号： | 201611035297.0 | 申请日： | 2016-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN107012498A | 公开（公告）日： | 2017-08-04 |
| 发明（设计）人： | 萧国瑞 | 申请（专利权）人： | 瑞尔太阳能投资有限公司 |
| 主分类号： | C25D17/02 | 分类号： | C25D17/02;C25D9/04;H01L31/18 |
| 代理公司： | 济南誉丰专利代理事务所(普通合伙企业)37240 | 代理人： | 李茜 |
| 地址： | 中国香港九龙长沙湾长*** | 国省代码： | 香港;81 |
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| 摘要： | 本发明提供一种多层膜电化学沉积设备及方法，所述设备包括电沉积腔和多个电沉积液存储装置，每个电沉积液存储装置的两端分别设有电沉积液出口和电沉积液入口，每个电沉积液出口和电沉积液入口处均设有阀门，电沉积腔的两端分别与多个的电沉积液出口和电沉积液入口连通，电沉积腔内固定有阴极材料和阳极材料，阴极材料和阳极材料之间连接有电压源。本发明的电沉积腔同时连通多种电沉积液存储装置，可以通过依次切换电沉积腔与不同电沉积液存储设备的连通使不同电沉积液流经阴极材料和阳极材料之间来完成多层膜的镀制，整个过程无需移动阴极材料和阳极材料，无需更换电沉积设备，避免多层膜接口在电镀设备传送过层中产生污染。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多层 电化学 沉积 设备 方法 | ||
【主权项】：
一种多层膜电化学沉积设备，其特征在于，所述设备包括电沉积腔（10）和多个电沉积液存储装置，每个电沉积液存储装置的两端分别设有电沉积液出口和电沉积液入口，每个电沉积液出口和电沉积液入口处均设有阀门（40），所述电沉积腔（10）的两端分别与多个电沉积液存储装置的电沉积液出口和电沉积液入口连通，所述电沉积腔（10）内固定有阴极材料（11）和阳极材料（12），所述阴极材料（11）和阳极材料（12）之间连接有电压源（13）。
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