[发明专利]一种测量脉冲离子束脉冲宽度的装置及方法有效
| 申请号： | 201611025682.7 | 申请日： | 2016-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN108089064B | 公开（公告）日： | 2020-04-28 |
| 发明（设计）人： | 陈平;李海洋;蒋吉春 | 申请（专利权）人： | 中国科学院大连化学物理研究所 |
| 主分类号： | G01R29/02 | 分类号： | G01R29/02 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 马驰 |
| 地址： | 116023 辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本专利提出一种测量脉冲离子束脉冲宽度的装置及方法。它测量的原理是：将一次离子源产生的脉冲离子束经过偏转板调制后轰击到样品靶后，收集产生的二次离子后进入后端质谱进行检测。二次离子强度变化可以实时反映一次离子束强度的变化。在偏转电极的一个电极上施加固定电位，另一个电极上施加脉冲电压。当两个电极为相等电位时，离子束正常通过偏转电极轰击到靶上产生二次离子流；当两个电极电位不等时，离子束受到电场的偏转而无法通过偏转电极，无法轰击到靶上。通过改变离子偏转电极施加脉冲高压的时间，可以在收集并检测不同时刻对应的二次离子流强度，即实现脉冲离子束的时间分布及脉宽的测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测量 脉冲 离子束 脉冲宽度 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种测量脉冲离子束脉冲宽度的装置，其所述装置的特征在于：沿脉冲离子束(1)轴线方向上设置有偏转电极(2)，偏转电极(2)的两个极片沿脉冲离子束(1)轴线两侧呈对称分布，沿脉冲离子束(1)轴线的延长线方向上设置有转换靶(3)，沿转换靶(3)的法线方向设置有离子检测装置(4)。
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