[发明专利]纳米氮化镓球形粉体的制备方法有效
申请号: | 201611021404.4 | 申请日: | 2016-11-21 |
公开(公告)号: | CN106586978B | 公开(公告)日: | 2018-08-17 |
发明(设计)人: | 杨文智;黄伟明;陈子明;黄伟;尚福军 | 申请(专利权)人: | 中国兵器科学研究院宁波分院 |
主分类号: | C01B21/06 | 分类号: | C01B21/06;B82Y40/00 |
代理公司: | 宁波诚源专利事务所有限公司 33102 | 代理人: | 袁忠卫;景丰强 |
地址: | 315103 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 一种纳米氮化镓球形粉体的制备方法,其特征在于包括如下步骤:将氧化镓粉末放入充满氨气的微波加热装置中进行反应,得到氮化镓粉体,然后将氮化镓粉体进行球磨破碎,筛分处理,再经过感应等离子处理即可获得纳米氮化镓球形粉末。与现有技术相比,本发明采用两步法制备高品质纳米氮化镓球形粉末,即先采用微波固相合成法制备初级氮化镓粉体,然后通过感应等离子方法进一步深加工,不但可以提高氮化镓粉体的纯度,而且可以纳米化粉体,获得分散性好、品质高的氮化镓粉体。 | ||
搜索关键词: | 纳米 氮化 球形 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种纳米氮化镓球形粉体的制备方法,其特征在于包括如下步骤:将氧化镓粉末放入充满氨气的微波加热装置中进行反应,得到氮化镓粉体,然后将氮化镓粉体进行球磨破碎,筛分处理,再经过感应等离子处理即可获得纳米氮化镓球形粉末;所述的感应等离子处理条件如下:送粉速率为100~200g/h;等离子功率为40~60kW,中间气体由三种不同的组分的气体构成,分别为60~90标准升/分钟氩气、20~40标准升/分钟氢气、20~30标准升/分钟氨气;反应室压力为80~100kPa,载流气流量为1~3标准升/分钟氩气。
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